Tấm đánh bóng gốm alumina có độ tinh khiết cao là gì?

Với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp bán dẫn, quy mô ngành đã tăng lên nhanh chóng, và thiết bị sản xuất bán dẫn cũng liên tục được cải tiến về độ chính xác và độ phức tạp. Do gốm sứ có những ưu điểm như độ cứng cao, mô đun đàn hồi cao, khả năng chống mài mòn cao, khả năng cách điện cao, khả năng chống ăn mòn, độ giãn nở thấp, v.v., nên nó có thể được sử dụng làm các bộ phận của máy đánh bóng silicon, thiết bị xử lý nhiệt epitaxy/oxy hóa/khuếch tán, máy in thạch bản, thiết bị lắng đọng, thiết bị khắc bán dẫn, máy cấy ion và các thiết bị khác. Vì vậy, việc nghiên cứu, phát triển và sản xuất các bộ phận gốm sứ chính xác ảnh hưởng trực tiếp đến sự phát triển của ngành công nghiệp bán dẫn. Yêu cầu kỹ thuật trong việc chế tạo chúng ngày càng cao.

Nhôm oxit có độ tinh khiết cao, 99,7%-99,9% nhôm oxit.
Độ bền cơ học cao, khả năng chống mài mòn cao, khả năng cách điện cao, độ ổn định hóa học cao, khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn tốt. Hiện nay, việc sử dụng đĩa mài gốm để mài tấm bán dẫn silicon là phương pháp mài tiên tiến và ưu việt nhất. Quá trình mài hai mặt được sử dụng để mài tấm silicon đã cắt, và chất lượng của tấm silicon sau khi mài được cải thiện bằng cách tối ưu hóa quá trình mài (vật liệu đĩa, dung dịch mài, áp suất mài và tốc độ mài, v.v.). Đặc biệt, việc sử dụng tấm gốm thay vì tấm gang giúp tránh mài trên bề mặt chính của tấm silicon gây ra các vết xước hoặc ô nhiễm, giảm sự xâm nhập của các ion kim loại, có thể giảm quá trình xử lý silicon tiếp theo, rút ​​ngắn thời gian xử lý (ăn mòn) tiếp theo, nâng cao hiệu quả sản xuất và giảm tổn thất trong quá trình xử lý silicon, từ đó cải thiện đáng kể khả năng sử dụng silicon.

Tấm đánh bóng wafer alumina caoGốm alumina được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, dầu khí, hóa chất, quang điện, tinh thể lỏng và các ngành công nghiệp khác, chẳng hạn như các bộ phận cơ khí, linh kiện điện tử, đĩa cảm ứng vi sóng, vật liệu cách điện và các bộ phận khác, thiết bị bán dẫn, thiết bị chân không, thiết bị sản xuất tinh thể lỏng và các bộ phận khác. Gốm alumina kích thước lớn và độ tinh khiết cao có giá trị ứng dụng quan trọng trong ngành công nghiệp sapphire và ngành công nghiệp chip bán dẫn. Nó là vật liệu hỗ trợ và vật tư tiêu hao quan trọng cho quá trình đánh bóng cơ học hóa học (CMP) của sapphire và các tấm silicon bán dẫn. Gốm alumina kích thước lớn và độ tinh khiết cao cũng có thể được sử dụng làm chất nền alumina cho màn hình LCD.