Chemshuntấm đánh bóng wafer aluminaBàn xoay được làm từ alumina có độ tinh khiết cao 99,7-99,9%. Gốm alumina có độ tinh khiết cao sở hữu độ cứng vượt trội và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, thích hợp cho việc đánh bóng wafer và duy trì hình dạng bề mặt tốt trong thời gian dài. Nó được tạo hình bởi PIBM. Sản phẩm này là một thành phần quan trọng của ngành công nghiệp bán dẫn nhờ độ ổn định nhiệt và kích thước vượt trội cũng như khả năng chống chịu với môi trường khắc nghiệt của thiết bị xử lý vi mạch.
Làm phẳng bằng phương pháp cơ học hóa học (CMP), còn được gọi là đánh bóng cơ học hóa học, là một công nghệ trong quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Nó sử dụng sự ăn mòn hóa học và lực cơ học để làm phẳng các tấm silicon hoặc các vật liệu nền khác trong quá trình gia công.
Thiết bị CMP chủ yếu được chia thành hai phần: phần đánh bóng và phần làm sạch. Phần đánh bóng gồm 4 bộ phận, đó là 3 bàn xoay đánh bóng và một mô-đun nạp và dỡ wafer. Phần làm sạch chịu trách nhiệm làm sạch và sấy khô wafer để đạt được quá trình “sấy khô đầu vào và sấy khô đầu ra”. Trong toàn bộ thiết bị đánh bóng, gốm alumina đóng vai trò quan trọng.
Gốm alumina thường được sử dụng để chế tạo đĩa đánh bóng wafer, đòi hỏi độ tinh khiết cao, độ bền hóa học cao và khả năng kiểm soát tốt hình dạng và độ nhám bề mặt.
Đĩa mài gốm Chemshun 99,7% Al2O3 được làm từ vật liệu gốm cao cấp, thích hợp cho việc mài mịn nhiều loại vật liệu, đặc biệt là mài các vật liệu dễ vỡ như bánh wafer, gốm sứ và thủy tinh. Đĩa mài gốm của chúng tôi có thể được sản xuất với nhiều kích thước khác nhau tùy theo các mô hình mài và đánh bóng khác nhau.
Thời gian đăng bài: 30 tháng 5 năm 2025